废气除臭设备等离子净化器的原理为在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离，解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变为无毒无害或低毒低害物质，从而使污染物得以降解去除。等离子体技术降解有机气体不需要外加吸收剂或催化剂，只与强电离放电中产生的OH•反应生成CO2和H2O，实现无污染化。在强电离放电中，OH•的浓度对有机废气的降解作用十分重要。

  废气除臭设备等离子净化器等离子体分解破坏挥发性有机污染物的两种途径如下

  (1)高能级电子直接作用于污染物分子：

  e + 污染物分子 —— 各种碎片分子

  (2)高能级电子间接作用于污染物分子：

  e +O2 (N2,H20) ——2O(N,N*,OH) +污染物分子 ——中性分子