可定制分析140nm以上元素；包括N元素。

采用全新光学系统设计不限于双光学系统。

采用自动控制参数可调的DFⅢ型等离子体光源。

全新的操作界面和可优化选择的定制工作曲线。

全部元素采用CCD接收信号。

功率：待机时功率500W；分析时最大功率2000W。

外观尺寸及重量：长1080mm，宽680mm，高620mm；重量约为110KG。