净化工程设计特点

》低压损
》厚度薄
》高效率
》运行成本低
》0.1-0.5μm粒子捕集
》效率99.9995%以上
一般应用
》超LSI制造工厂、半导体制造工厂、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合

型号尺寸及其他参数