废气处理项目
受污染的气体必须在内部处理以确保排放的气体不会超过当地政府允许的最大环境排放数值。最理想的气体洗涤或焚烧方案对于每种使用的处理设备都是特定的：
• 多晶体晶片的基本酸蚀刻工艺会产生HF和NOx气体。
• 多晶体晶片的基本碱蚀刻工艺会产生KOH气体。
• PECVD 机器产生易爆废气。
• 印刷线上用烘干机和火炉会产生可燃性废气。
废气处理系统正常是量身定做的。苏州依斯倍会帮助你设计和优化你们工厂的气体处理系统